Mikroanalysensystem

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Die vergrösserte, bildliche Darstellung einer Probe, wie dies mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) möglich ist, vermag leider keine Informationen über die chemische Zusammensetzung der Probe zu geben. Dabei sind insbesondere Informationen über lokale Elementanhäufungen im Mikrobereich, wie z.B. Einlagerungen oder Anreicherungen an Phasengrenzen, für Materialeigenschaften von hoher Bedeutung. Deshalb ergaenzt man das REM mit Zusatzgeräten für die Analytik, wie der Energiedispersiven Röntgenfluoreszenzanalyse (EDX).

Eine kurze Exkursion in das Prinzip der EDX gekoppelt mit REM: Trifft der Primärelektronenstrahl des REM mit ausreichender Energie auf ein Material, so werden unter anderem Sekundärelektronen aus den inneren Atomschalen der am Aufbau des Materials beteiligten Elemente herausgeschlagen. Beim Auffüllen der entstandenen Elektronenlücken mit Elektronen aus Atomschalen höherer Energie, werden Röntgenquanten freigesetzt, deren Energie für das betroffene Element streng charakteristisch ist. Mit geeigneten Detektoren werden diese Röntgenquanten gemessen und in Form eines Elementespektrums visualisiert.

Die Mikrobereichsanalyse liefert somit die Antwort auf die Frage: "An welcher Stelle der Probenoberflaeche ist welches Element in welchem Massenverhaeltnis vertreten?". Dadurch werden die Anwendungsmöglichkeiten des REM beträchtlich erweitert, sie gestatten die chemisch-analytische Identifizierung von mikroskopisch kleinen Einschlüssen, Inhomogenitaeten und Phasen aller Art.

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